据微信公众号“西湖仪器”音问laosege，近日，由该校孵化的西湖仪器（杭州）工夫有限公司收效建树出12英寸碳化硅衬底自动化激光剥离工夫，责罚了12英寸及以上超大尺寸碳化硅衬底切片贫瘠。

与传统的硅材料比较，碳化硅具有更宽的禁带能隙、更高的熔点、更高的电子迁徙率以及更高的热导率，或者在高温、高电压要求下自若职责，已成为新动力和半导体产业升级的关节材料，鼓动电动汽车、光伏发电、智能电网、无线通讯等规模的工夫翻新。

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但衬底材料老本占据全体老本的比例如故居高不下，白俄罗斯美女15p撸网严重阻止了碳化硅器件大范围的产业化推论。降本增效的紧迫道路之一是制造更大尺寸的碳化硅衬底材料。与6英寸和8英寸衬底比较，12英寸衬底材料或者进一步扩大单片晶圆上可用于芯片制造的面积，在同等坐褥要求下，权贵普及产量，贬低单元老本。

2024年12月，国内碳化硅头部企业已透露了最新一代12英寸碳化硅衬底，在引颈海外发展趋势的同期，也建议了12英寸以上的超大尺寸碳化硅衬底切片需求。与之相应，西湖仪器以最快速率推出了“超大尺寸碳化硅衬底激光剥离工夫”，最初责罚了12英寸及更大尺寸的碳化硅衬底“切片”贫瘠。

“该工夫收尾了碳化硅晶锭减薄、激光加工、衬底剥离等流程的自动化。”西湖大学工学院讲席造就仇旻先容，与传统切割工夫比较，激光剥离流程无材料损耗，原料损耗大幅着落。新工夫可大幅裁减衬底出有顷候，适用于昔时超大尺寸碳化硅衬底的范围化量产，进一步促进行业降本增效。

（详尽自西湖仪器、科技日报等）laosege